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JSM-IT800 / Windowless EDS分析で新たな探求を。
日本電子株式会社 ドライSD Windowless EDS Gather-X JEDシリーズは、JSM-IT800に搭載可能なWindowlessタイプのEDSです。 軽元素から重元素までストレスフリーなEDS分析を実現！ カーボンニュートラルが牽引役となり、素材開発はより重要となっています。電池材料で例えるとLiなどの軽元素からNi,Co,Mnなどの遷移金属までの幅広い解析が必要です。 半導体材料や触媒のナノ粒子の解析には特性X線をより効率良く、高感度で分析するニーズが増えています。 〇特長 ・全エネルギー帯の高感度分析 ・高空間分解能MAP ・使いやすさと安心操作 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
各元素の分布を2次元的に見ることが可能！多層状の試料の分析の際にも有効な場合があります
Cuパッドの接合界面におけるEDSによる分析事例をご紹介いたします。 金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析では、各特性X線の強度 (カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出。金属間化合物等は 算出された濃度比により、形成された化合物を推定することが可能です。 また線分析では、SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイル することができるため、分析箇所の元素濃度変化を確認できます。 【EDSによる分析の特長】 ■金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析 ・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出 ・金属間化合物等は算出された濃度比により、形成された化合物を推定 ■線分析 ・SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイルできる ・分析箇所の元素濃度変化を確認することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
