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LED/LD生産のための2,3と4インチウェーハフォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定装置 ウェハ PL
ワイ・システムズは、青色レーザーダイオード（LD）や発光ダイオード（LED）の研究環境での測定と評価技術などの実績によって設立されました。そして2001年に現在の主力製品（ワイ・ウェーハ・マッパー）の一号機をスタッフと共に製品化しました。これからも固体照明の最先端技術の一角を担ってまいります。
カスタマイズ可 波長範囲: 200nm - 5nu 対応 ウェーハ マッピング装置 ウェハ PL フォトルミネッセンス 多機能
RD8シリーズ ウェーハ マッピング装置 RD8シリーズは最大測定面積 200×200 mm までの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれております。 お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。
ウェーハマッピング装置、ロボット搬送付き、多機能200x200mm、RD8シリーズ ウェハ PL
ウェーハマッピング装置RD8シリーズは最大測定面積200×200mmまでの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれており、お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。
