HD-1 X線分光器
特別な集光ジオメトリを使用しており、非常に低い強度のX 線放射を計測出来ます。
• 特別な集光ジオメトリによって、非常に高い検出効率を実現 • ご要望に応じて絶対強度校正を実施 • 小型 • 結晶部分は可動しない • 結晶の交換は不要 • EUV 用にスペクトル範囲を最適化可能 λ =6 ～ 7nm または 12 ～ 14nm
- 企業：ケイエルブイ株式会社
- 価格：応相談
X線分光器 - メーカー・企業4社の製品一覧とランキング
X線分光器の製品一覧
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低角度X線分光法『LAXS』
リアルタイムでの薄膜組成の情報を得ることが可能！プロセスモニタリングのための診断ツール
『Low Angle X-ray Spectroscopy(LAXS)』は、低角度X線分光法です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの薄膜組成の情報を 得ることができます。 【特長】 ■RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの 薄膜組成の情報を得ることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
エネルギー分散X線分光法(EDS)
特性X線を検出！微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析手法
『エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)』は、電子顕微鏡(SEMやTEM)に 取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し、 試料や異物の元素情報を得る手法です。 物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、 特性X線のエネルギーに相当する数の電子-正孔対が生成。 この数(電流)を測定することで特性X線のエネルギーを知ることができ、 エネルギーは元素により異なるため、物質の元素情報を調べることが可能です。 【EDSによる分析(一部)】 ■金属間化合物の定性分析(点分析) ・測定されたスペクトルの特性X線がどの元素の特性X線エネルギーに 対応するかを調べることで、元素の種類を調べることができる ■金属間化合物の半定量分析 ・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで、含有元素の 濃度を算出することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アイテス
- 価格：応相談
［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。 ・全元素範囲（B～U）の同時分析が可能（付属装置によりBeの検出も可） ・0.1nmφ～の細い電子線プローブで測定が可能 ・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能 ・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です
EDXは、電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS：Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではSEM付属のEDXについて解説します。 ・測定範囲の全エネルギー（B～U）が同時に短時間で測定可能 ・検出効率に優れているので、少ないプローブ電流で測定が可能 ・特殊な試料を除き、前処理不要で手軽に分析を行える ・未知試料の分析に適している ・クライオホルダーを用いることで凍結・冷却した状態で測定可能
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
