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着目ポイントを逃さない！ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます
当社のテクノロジー『ユーセントリック機能』についてご紹介します。 着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。 独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時も サンプルを中央に捉え続けます。 【特長】 ■着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能 ■独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時も サンプルを中央に捉え続ける ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
斜め方向からの撮影で大型基板も破壊することなく断層撮影！高い操作性も実現しました
当社のテクノロジー『3次元斜めCT』についてご紹介します。 斜めCTはユーセントリック機能を利用してディテクターを斜め方向に 傾斜した状態でCT撮影を行うため、大型基板でも360度方向同一条件での 撮影ができます。 また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での 断層撮影も可能。 特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影が できるという高い操作性も実現しました。 【特長】 ■大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができる ■X線焦点に着目部位を近づけることができる ■高拡大倍率での断層撮影も可能 ■特別な治具も不要 ■サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイクロフォーカスX線CTシステムにてフィルター処理を行った事例です。
自社開発ソフトウェア”Jasper”は多彩な線源、カメラに対応できるマルチデバイス制御ソフトウェアです。 フィルター加工前では見えていなかったパターンやボイド、ワイヤーの打痕もフィルター処理をする事により、はっきりと見えるようになっています。 撮影画像の後処理だけではなく、ライブ観察時にも使用する事が可能なので工数削減にも貢献いたします。 #X線#斜めCT#透過#非破壊#直交CT#クラック#不具合#ボイド#異物#ワイヤー#ボンディング#基板#半導体
