ウェハ搬送装置×レイリサーチ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

ウエハ搬送機Inline対応

ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。

ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。 測定終了後は、ウエハを指定されたアンロードカセットに収納可能です。 お客様ご希望の測定機、検査機に対応します。 【特徴】 　■ご希望の測定機、検査機を搭載可能 　■8インチ・12インチウエハに対応 　■測定条件、測定結果を上位転送可能

• 企業：レイリサーチ株式会社
• 価格：1000万円 ~ 5000万円

• その他半導体製造装置