多槽式ウェハ洗浄装置
RCA洗浄や各種エッチングに対応！薬液・純水の使用量やフットプリントを大幅に削減します
当製品は、キャリアレスとキャリアタイプをラインアップした 「多槽式ウェハ洗浄装置」です。 キャリアレスタイプは高清浄度な洗浄に対応し、薬液や純水の 使用量とフットプリントを大幅に削減。キャリアタイプは1バッチ の搬送カセット数を1または2カセットから選択できます。 酸系薬液用処理、アルカリ系薬液用処理、有機系薬液用処理の 各プロセスによる装置構成が可能です。 【多槽式キャリアレスの特長】 ■ワークサイズは、6インチ、8インチ、12インチウェハに対応 ■キャリアレス搬送により成膜前洗浄などの高清浄度な洗浄に対応 ■薬液や純水の使用量を大幅に削減 ■フットプリントを大幅に縮小 ■乾燥はIPA乾燥、温水引き上げ・IR乾燥、マランゴニ乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーはカセットまたはFOUPに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社LC
- 価格：応相談
