ウエハー貼付け装置 据置型『MHD240-SS』
サファイア、SiC、GaN などの ウェハ・基板をセラミックやガラスなどの支持基板（貼付け板）にワックスで接着させる貼付装置です
『MHD240-SS』は、サファイア、SiC、GaN ウェハーなどの薄基板を、 セラミックやガラス等の支持基板にワックス接着させる貼り付け装置です。 空気圧力によって試料を均等に加圧させるため、支持基板に ムラなく均一に貼り合わせることが出来ます。 ワックスの硬化時間（冷却時間）を設定することが出来るので、 急速冷却によるワックスの収縮を防ぐことが出来ます。 【特長】 ■薄基板を支持基盤にワックス装着させる為の装置 ■張り合わせ時、真空脱法することが可能 ■空気圧力で試料を均等に加圧させるため、均一に貼り合わせられる ■貼り合わせ設定はシーケンサーによるプログラムコントロール ■ワックスの硬化時間を設定でき、急速冷却を防ぐ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：北川グレステック株式会社 本社
- 価格：応相談
