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スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適
エアベアリングを備えた高精度XY平面スキャナーはフラットなデザインで積み重ねられたXYステージ。 効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約可能。 ・スキャンアプリケーションや高精度の位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・移動範囲は300mm×300mm ・147Nまでの耐荷重 ・1nmまでの解像度 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
