エアー駆動ディスペンサー SB 『レジスト塗布工程に最適』
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズは、半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応できます。 【特長】 ●フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。 ●サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止できます。 ●シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。 ●接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプと、フッ素樹脂（PTFE、PFA）タイプを用意。 ●システム組込みに最適な形状選択が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社イワキ
- 価格：応相談
