カセットレス洗浄機 - 企業3社の製品一覧

カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）

ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能

＜特長＞・カセット接触部の洗浄ムラも解消。・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。・消費電力を大幅にカット。・槽間移動時の薬液量を少量化。・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージを与えることなくパーティクルの除去が可能。

企業：株式会社プレテック
価格：応相談

その他半導体製造装置

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300mmウェハカセットレス洗浄装置

65nμm／5個の高清浄度を達成！25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理

『300mmウェハカセットレス洗浄装置』は、ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する製品です。 25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理しており、 65nμm／5個の高清浄度を達成しています。【主な仕様】 ■被洗浄物：300mm 厚み 0.75t ■処理方法：カセットレスによるDip処理 ■処理速度：50 枚/5min（可変） ■装置内清浄度：0.1μm クラス1 ■パスライン：FL+900±5mm フープによる手動セット ■搬送方式：前面搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。