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ガス加熱装置×株式会社フィルテック  本社 - メーカー・企業と製品の一覧

ガス加熱装置の製品一覧

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小型なのに高熱に!高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』

最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能!本体寸法11センチからの小型熱交換器です※デモ機貸し出しOK

『ヒートビームシリンダー』は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を 効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。 クリーンな加熱方法なので、プロセスガスの加熱に適しています。 窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると 反応生成物の付着を防止できます。また水を直接加熱して過熱水蒸気発生装置と することができ、様々な用途での使用が期待されます。 【特長】 ■900℃以上の過熱水蒸気を発生するので広い分野で使用が可能 ■コンパクトなサイズだから、ユースポイントの近くで過熱水蒸気を発生できる ■水から直接 過熱水蒸気の生成も可能であり、ボイラーが不要 ■自由な配置・組み合わせができるので並列、直列、縦置、横置、装置直結も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他環境機器

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