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ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食！
『ガラスエッチング』は、ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で 腐食させ、溝や段彫り加工などを施す加工技術です。 基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスを使用。 また、フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして 使用するので、高精度のパターンが形成可能です。 【特長】 ■基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスを使用 ■フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして使用 ■高精度のパターンが形成可能 ■深さ方向の寸法制御が可能 ■表面は比較的滑らかに仕上がる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種ガラス材への微細貫通孔を孔開け！微細孔開けの導入事例もご紹介しております
株式会社フォアサイトが行う、ガラスエッチング技術の『微細孔開け』を ご紹介します。 高集積化が求められる半導体において、製品だけではなく、製造プロセスに 必要不可欠な加工技術の開発に導入されており、TGV、サポート基板、 スペーサーなどの用途に好適。 また、従来の平面構造(2D)の電極配線だけではなく、立体構造(3D)での 電極配線を実現する材料開発への導入事例もあります。 最小径及び最小ピッチに関しては、板厚を主要因として、対応仕様が 変わりますので、ご相談ください。 【特長】 ■各種ガラス材への微細貫通孔を孔開け ■最小径及び最小ピッチは、板厚を主要因として、対応仕様が変わる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガラスエッチング
ガラスエッチングは、Siウエハーの様な方向性はありませんが、 材質、ワーク寸法等、選択範囲が非常に広く、様々な分野で利用されております。 詳細はお気軽に「お問い合わせ」ください。
