乾燥 クリーンオーブン 最高250℃ 清浄度クラス100
半導体、液晶、電子部品、精密器具等、無塵環境での乾燥に最適
耐熱HEPAフィルターを使用し、最高温度250℃で清浄度クラス100の槽内清浄度を保ちます。 インバータ、槽内スリッタ等により風速分布を均一化し、高精度の温度分布を実現しました。
- 企業:株式会社島川製作所
- 価格:応相談
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半導体、液晶、電子部品、精密器具等、無塵環境での乾燥に最適
耐熱HEPAフィルターを使用し、最高温度250℃で清浄度クラス100の槽内清浄度を保ちます。 インバータ、槽内スリッタ等により風速分布を均一化し、高精度の温度分布を実現しました。
清浄度とN2雰囲気を両立。 低酸素センサ等の安全対策も万全。
クリーンオーブンの中でも熱処理時に低酸素を要求されるプロセスに最適です。 酸素濃度計(PPM・%)とプログラム温度調節計を連動させ,酸素濃度を検知しながら昇温・降温のプログラム設定が可能です。 オプションにて雰囲気酸素濃度検知警報,ドアロック,高温250℃仕様等が可能です。