半導体、液晶、電子部品、精密器具等、無塵環境での乾燥に最適
耐熱HEPAフィルターを使用し、最高温度250℃で清浄度クラス100の槽内清浄度を保ちます。 インバータ、槽内スリッタ等により風速分布を均一化し、高精度の温度分布を実現しました。
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用途／実績例
半導体、液晶、電子部品、精密器具等、無塵環境での乾燥、熱処理。
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創業以来多くの経験で培った「熱制御技術」「風制御技術」「大気汚染防止技術」「機械設計技術」「エンジニア力」など数々の技術を結集し、単体機器からプラント機器までお客さまのご要望に合わせた最適なシステムをご提案いたします。