クリーンオーブン - 企業11社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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企業ランキング
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- 光洋サーモシステム株式会社 奈良県/電子部品・半導体 営業管理部
- エスペック株式会社 大阪府/産業用電気機器
- 三基計装株式会社 埼玉県/試験・分析・測定
- 4 株式会社島川製作所 大阪府/産業用機械
- 4 株式会社ダン科学 東京都/電子部品・半導体
製品ランキング
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- 300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
- 高性能クリーンオーブン『PVHC』 エスペック株式会社
- 乾燥 窒素 N2クリーンオーブン（低酸素仕様） 株式会社島川製作所
- サーマルクリーンオーブン 三基計装株式会社
- 4 自動搬送カセットクリーンオーブン 株式会社ダン科学
製品一覧
1～12 件を表示 ／ 全 12 件
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高性能クリーンオーブン『PVHC』
清浄度クラス5のクリーン熱処理！使用目的に合わせて好適器種から選択可能
『PVHC』は、温度上昇・下降時にも高クリーン度を発揮する高性能タイプのオーブンです。 クラス5の清浄空気条件が求められる試料の熱処理から、部品・器具の 乾燥に活躍し、使用目的に合わせて好適器種から選択可能。 省スペースタイプのタテ型スリム設計、視認性の高い大型LEDを使用した 計装や日本語表示の操作キーなど、使いやすさを一層充実させています。 【特長】 ■清浄度クラス5のクリーン熱処理 ■コンタミネーションフリーの気密構造 ■高精度な無酸化雰囲気熱処理を実現 ■熱処理の全工程にわたり自動運転が可能 ■温度上昇・下降時にも高いクリーン度を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エスペック株式会社
- 価格：応相談
300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』
300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン
『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自動クリーンオーブン ■最大50枚/チャンバー ■1台のロボットで2チャンバーに対応 ■1チャンバーあたり2FOUPで運用 ■2枚葉搬送ロボットによる高効率ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
- 価格：応相談
乾燥 窒素 N2クリーンオーブン（低酸素仕様）
清浄度とN2雰囲気を両立。 低酸素センサ等の安全対策も万全。
クリーンオーブンの中でも熱処理時に低酸素を要求されるプロセスに最適です。 酸素濃度計（PPM・％）とプログラム温度調節計を連動させ，酸素濃度を検知しながら昇温・降温のプログラム設定が可能です。 オプションにて雰囲気酸素濃度検知警報，ドアロック，高温250℃仕様等が可能です。
- 企業：株式会社島川製作所
- 価格：応相談
クリーンオーブン『OSK 93MU120』
低騒音ファンモーターを搭載！過熱防止機能、過電流・漏電ブレーカー付き
『OSK 93MU120』は、クラス100（HEPAフィルター）のクリーンオーブンです。 250℃までの到達時間は30分で、庫内を均一環境に保つ対流メカニズム、 低騒音ファンモーターを搭載。 過熱防止機能、過電流・漏電ブレーカー付きです。また、容量300L、560L、800Lの タイプもご用意しております。 【特長】 ■250℃までの到達時間30分 ■庫内を均一環境に保つ対流メカニズム ■低騒音ファンモーター ■10段階プログラム（温度・時間）、999サイクル ■過熱防止機能、過電流・漏電ブレーカー付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：オガワ精機株式会社
- 価格：応相談
クリーンオーブン『CMO型』
HEPAフィルターを使用した、クリーンオーブン
当社では、当社独自の水平循環方式の採用により、 無負荷時はもちろん、有負荷時の温度分布が向上した クリーンオーブン『CMO型』を取り扱っております。 準ヘパフィルターを使用したクラス、1000前後のJタイプもご用意。 最高温度350℃まで、特注にて製作いたします。 また、床面耐荷重加工が容易です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【仕様（一部抜粋）】 ■温度範囲：室温+20℃～200℃／室温+20℃～300℃ ■制御方式：P.I.Dパルス型無接点制御 ■内装材質：SPC焼付塗装 ■安全装置：デジタル過昇防止器、モーターサーマル、 制御用サーキットプロテクター、漏電ブレーカー など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社温度設備研究所
- 価格：応相談
クリーンオーブン『AHO-530』
医療器材等の無菌乾燥に好適！高い洗浄度と温度コントロールを実現
当社が取り扱うクリーンオーブン、『AHO-530』をご紹介します。 ステップ運転を可能にするプログラム温度調節計搭載。 下部に備品類を収納可能なスペースもあります。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■パチン錠によるフィルター固定でメンテナンス ■ステップ運転を可能にするプログラム温度調節計搭載 ■設定時間・温度は最大16パターン・16ステップ ■下部に備品類を収納可能なスペース有り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本エアーテック株式会社 本社
- 価格：応相談
【特殊乾燥装置】クリーンオーブン
クリーンルームでの使用に適した装置です
HEPAフィルタによりクラス1000まで対応が可能です。 精密機械の部品等をクリーンな雰囲気で加熱乾燥します。
- 企業：株式会社ゴダイエンジニアリング
- 価格：応相談
サーマルクリーンオーブン
無塵雰囲気内で乾燥、エージング、アニーリングを行うための恒温装置。
◆用途に応じて コンベア式トンネル型・ターンテーブル用・安全増・準防爆型・Ｎ2置換型・自動給排気方式等 用途別専用製品もございます。
- 企業：三基計装株式会社
- 価格：応相談
自動搬送カセットクリーンオーブン
一度に1セット分を処理できる！搬送機付自動カセットクリーンオーブンのご紹介
当社が取り扱う、『自動搬送カセットクリーンオーブン』をご紹介します。 8″ウェハ25枚1カセットを6個1セットとし、1台のクリーンオーブンと ローダ、アンローダ側の搬送ロボットを使用。一度に1セット分を処理できる 搬送機付となっております。 搬送方式は自動または手動が可能で、クリーンオーブン内温度はMAX140℃。 外形寸法は2590（W）×1400（D）×2400（H）となっております。 【主な仕様】 ■処理ウェハ：8”石英ウェハ25枚入りカセット×6 ■搬送方式：自動／手動 ■クリーンオーブン内温度：MAX140℃ ■クリーンオーブン内清浄度：クラス10 0.3μmRTにて ■外形寸法：2590（W）×1400（D）×2400（H） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダン科学
- 価格：応相談
クリーンオーブン『DCHシリーズ』
無塵環境の恒温乾燥・試験などに！省スペース・大容量・高精度のクリーンオーブン
『DCHシリーズ』は、300℃までの恒温乾燥・熱処理など、幅広くお使い いただけるクリーンオーブンです。 水平層流循環送風式と信頼性の高い耐熱HEPAフィルターを採用して、 高精度な温度分布のクリーン環境を実現。 多くの試料を処理できる360L～600Lの容量ですが、堅型構造で設置面積を 有効に使えます。 【特長】 ■クリーン度クラス100 ■最高温度300℃ ■省スペース・大容量 ■GMP仕様にも対応 ■エアフィルターの交換時期がわかる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アルプ株式会社
- 価格：応相談
クリーンオーブン（強制気流）『OSK 93MD149シリーズ』
最大10個のプログラムの保存・利用が可能！短時間で試験結果を得られます
『OSK 93MD149シリーズ』は、高性能HEPAフィルターの搭載により、 クラス100の清潔さを満たす仕様のクリーンオーブンです。 各プログラムで最大10工程、1工程は最長99時間59分まで対応。 二基の強力なファンの生み出す強制気流により、好適な空気循環と 均一な温度を確保し、加熱時間の短縮を実現します。 また、USB/RS-232ポート内蔵により、外部制御・データ収集可能です。 【特長】 ■プログラム制御が可能－温度上昇・維持（最大10パターン保存） ■0.3μm以上の粒子を99.7％除去する高性能HEPAフィルター搭載 （クラス100基準） ■急速な加熱性能（最大300℃－HPモデル） ■3点温度校正/自動補正機能 ■遅延オン/オフ機能付のデジタルタイマー：1分〜99時間59分 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：オガワ精機株式会社
- 価格：応相談
