卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』
稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボット
『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各種センサ装備 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アテル株式会社
- 価格：応相談
