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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！
『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは95mmと156mmの二種類 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット！
『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ■アーム関節部防水構造にVシール使用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット！
『SCR3100S-PMシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ 搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算0.5kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小フットプリント化・軽量化を実現したクリーンロボット！
『SSCR3115Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 装置レイアウトの小型化が可能。また小フットプリント化と軽量化により、 半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小型ウエハ搬送に 最適です。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■可搬重量はアーム第3関節換算0.2kgf以下(ワークのみ) ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！
『SCR3000CSシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しており、被搬送物、装置 レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm、130mm、160mm、200ｍｍ ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm～選択可能 ■Z軸バリエーションは200mm～選択可能 ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ■装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
