ゲートインサート - 企業1社の製品一覧

角型ゲート/インサート MONOVAT

200 300 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン

• 企業：VAT株式会社
• 価格：応相談

• 真空機器