200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン
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基本情報
開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール シール技術: MONOVAT機構 ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジュラーシステムを採用
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納期
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用途／実績例
主に半導体製造装置に使用されています。
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 02209-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02210-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02212-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02213-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02241-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 03209-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03210-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03212-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03213-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03241-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
カタログ（1）
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。