シリンジポンプ(薬液) - メーカー・企業と業務用製品

【半導体製造向け】精密・コンパクトな装置組込用ポンプよる薬液滴下

半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 ピストンポンプ：Pullsar PBC 【活用シーン】・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加・洗浄・エッチング工程での薬液調合・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理・パッケージング工程など【Cavroシリーズが選ばれる技術的理由】・高い分解能: ステッピングモーターによる細かいステップ制御で、極微量の吐出が可能・メンテナンス性: 装置への組込み（OEM）を前提とした設計で、クリーンルーム内でのダウンタイムを最小限に・多様なシリンジ材質: 腐食性の強い半導体用薬液に対しても、適切な材質（PTFE、セラミックなど）を選択することで対応可能

企業：テカンジャパン株式会社
価格：10万円 ~ 50万円

ディスペンサー
シリンジポンプ
容積型ポンプ
シリンジポンプ

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低価格シリンジポンプ『FP-500』

注入中の流速が微調整可能！

『FP-500』は、自動注入ポンプ1本架けタイプのシリンジポンプです。注入中の流速微調整が可能。シリンジ動作はプッシュ専用です。【特長】 ■シリンジ内径が入力されていて設定が容易 ■小型で軽量 ■注入中の流速微調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：有限会社メルクエスト
価格：応相談

流量制御
シリンジポンプ

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高性能シリンジポンプ『FP-1100／FP-1100W』

プログラムモードやレートモードなどを搭載！

『FP-1100／FP-1100W』は、自動注入ポンプ1本架けタイプのシリンジポンプです。注入中の流速微調整が可能。外部機器から注入制御を行うための入力機能や通信機能を備えています。シリンジ動作がプッシュ対応の「FP-1100」とプッシュ・プル対応の「FP-1100W」をご用意しております。【特長】 ■シリンジ内径が入力されていて設定が容易 ■小型で軽量 ■外部機器から注入制御を行うための入力機能や通信機能を装備 ■注入中の流速微調整が可能 ■プログラム動作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：有限会社メルクエスト
価格：応相談

試験機器・装置
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２本掛けプル付きシリンジポンプ『FP-2100』

通信機能あり！プッシュ・プル機能付で、外部制御可能なシリンジポンプ

『FP-2100』は、自動注入ポンプ2本架けタイプのシリンジポンプです。外部機器から注入制御を行うための入力機能や通信機能を備えており、 8ステップまでの加減速プログラムに対応。多数本対応をご希望の方向けに、6本架けタイプもご用意しております。【特長】 ■外部機器から注入制御を行うための入力機能や通信機能を装備 ■使い勝手を考えた3つのモードを搭載 ■8ステップまでの加減速プログラムに対応 ■多数本対応をご希望の方向けに、6本架けタイプもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：有限会社メルクエスト
価格：応相談

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聖剣　組込シリンジポンプ　エクスカリバー(XCalibur)　

24000ステップ、高い分注精度が要求される製品開発に最適な実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝テカン　Cavro XCaliburは、小型/軽量、高分注精度のOEMシリンジポンプです。エクスカリバーは近年その性能や頑丈さにより、世界中の化学分析装置や臨床診断装置に適用され、弊社の自動分注装置にも積極的に導入されています。簡単なコマンドで様々な動作、問題発生時はエラーコードで知らせます。省スペースおよび、高分注精度が要求される製品開発に最適です。完全RoHS3対応品です。臨床検査、半導体製造、薬液管理、水質分析、試験薬製造、粘性検査など多様な分野で活用されています。（※デモ、貸し出し可能）詳しい仕様ついては下記「カタログをダウンロード」をクリック。

企業：テカンジャパン株式会社
価格：応相談

その他ポンプ
ディスペンサー
シリンジポンプ
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【半導体製造装置向け】低脈動で精密な送液ができるシリンジポンプ

半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 送液速度：17nl/分～2.4L/分　（エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング）フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液【活用シーン】・スピンコート・スプレイコート・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加・洗浄・エッチング工程での薬液調合・自動滴定調整・自動希釈・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理・パッケージング工程など

企業：テカンジャパン株式会社
価格：10万円 ~ 50万円

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容積型ポンプ
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半導体の製造と薬液管理に　シリンジポンプ総合カタログ

半導体関連の製造装置開発に！　コーティング、エッチング、パルス送液、薬液管理や滴定、廃液管理で精密送液を実現するシリンジポンプ

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒）流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。