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ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！
「ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)」は、インラインでの フィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせる ことで、最短0.001秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)のフィルムの 膜厚測定が可能。 また、膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポートや、バタつきに 強い光学系を採用しているなどといった特長が備わっております。 【特長】 ■ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■高速・高精度に測定が可能 ■バタつきに強い光学系を採用 ■幅広のサンプル(TD方向に最大10m測定可能) ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
全面を高速かつ高精度に測定可能！膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート
「ラインスキャン膜厚計(オフライン)」は、フィルムなどの研究開発や 品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な 装置です。 フィルムなどの面内膜厚ムラを検査することができ、全面を高速かつ高精度 に測定可能。 また、測定範囲は0.1～300μmで、測定幅は250mm。ハード・ソフト共に オリジナル設計となっております。 【特長】 ■フィルムなどの面内膜厚ムラを検査可能 ■全面を高速かつ高精度に測定可能 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■分光測定による高精度な膜厚測定 ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！
半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
