ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ
【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性も備えたステージ！
光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ (*2)フィードバックステージコントローラFC-101との組み合わせ
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
