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スパッタコータ×サンユー電子株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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プログラマグルスパッタコーター SC-701HMCII

Ni/Cr/Wなどに対応! ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。 フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができます。自動シャッター機構を標準装備しています。 【特長】 ■フルオート/マニュアルの2通りの操作 ■高精度を誇る制御系 ■シャッター標準装置 →設定プログラムと連動して自動でオープン/クローズがおこなえる ■リアルタイムモニタリング ■デスクトップサイズのコンパクトなボディ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • コーター

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マグネトロンスパッタコーター SC-701MC

イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター 【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます

  • スパッタリング装置

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多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター!

QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。 ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。 【特徴】 〇プログラマブルスパッタコーター 〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作 〇シャッター標準装備

  • スパッタリング装置

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8インチスパッタコーター SC-708シリーズ

大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4~8インチまでの各モデルを用意しております。

QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。 【特徴】 〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。 〇コーティングモード/エッチングモード搭載 〇スパッタ薄膜作製はもちろん、マイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応

  • スパッタリング装置

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