アルカリ対応スピン洗浄装置
有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置
本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
スピン洗浄機(水はね) - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
