スピン現像装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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スピン現像装置 - メーカー・企業5社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年03月18日~2026年04月14日
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スピン現像装置のメーカー・企業ランキング

更新日: 集計期間:2026年03月18日~2026年04月14日
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  1. 株式会社カナメックス 厚木工場 神奈川県/電子部品・半導体
  2. 株式会社LC 立川本社、青梅工場 東京都/電子部品・半導体
  3. 株式会社メープル 神奈川県/鉄/非鉄金属
  4. 4 アクテス京三株式会社 技術センター 神奈川県/産業用機械
  5. 5 株式会社キムラ・エッチング 神奈川県/紙・パルプ

スピン現像装置の製品ランキング

更新日: 集計期間:2026年03月18日~2026年04月14日
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  1. 枚葉式スピン現像装置 株式会社LC 立川本社、青梅工場
  2. 枚葉自動スピン現像装置 株式会社カナメックス 厚木工場
  3. 枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT 株式会社カナメックス 厚木工場
  4. スピン現像装置 株式会社メープル
  5. 4 スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置(デベロッパー) アクテス京三株式会社 技術センター

スピン現像装置の製品一覧

1~7 件を表示 / 全 7 件

表示件数

枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT

装置寸法:1200W×1100D×2000H(200CBT)/1500W×1100D×2000H(300CBT)

基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。

  • その他半導体製造装置
  • スピン現像装置

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枚葉式スピン現像装置

パドル現像・スプレー現像・リンス・スピン乾燥までの各工程を自動で処理!

当社で取り扱っている「枚葉式スピン現像装置」について ご紹介いたします。 カセットをローダーにセットするだけで、クリーンロボットが ワークを自動搬送し、各工程を自動で処理。 大基板の現像については塗布工法をご提案します。 手動タイプでは、ワークを手動でチャックにセットし、 同様の現像・リンス・スピン乾燥工程を実施できます。 【仕様(一部)】 ■ワーク材質 ・Si、SiC、GaN、GaAs、InP、LT/LN、セラミック、水晶、樹脂、ガラス等 ■現像液:TMAH、Na2CO3、シクロペンタン(チャンバー独立) ■リンス液:DIW、PGMEAほか ■バックリンス:PGMEAほか ■塗布方法:シャワーまたはノズル ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 枚葉式スピン現像装置2.png
  • 枚葉式スピン現像装置3.png
  • その他洗浄機
  • スピン現像装置

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スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置(デベロッパー)

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両方に対応したデベロッパー

マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。

  • レジスト装置
  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置
  • スピン現像装置

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有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

装置寸法:1700W×1300D×1400H

基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。

  • その他半導体製造装置
  • スピン現像装置

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スピン現像装置

スピン現像装置

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の 現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。 【特長】 ●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。 ●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して  ノズルの移動が任意に設定可能。 ●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。 ※詳細は【資料請求】まで

  • 分析機器・装置
  • スピン現像装置

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研究開発用実験装置 スピン現像装置

エッチングマシン製作のことならキムラ・エッチング

研究開発用途の実験装置から生産装置まで、各種ウエット処理(エッチング、現像、剥離、洗浄等)装置を設計・製作しております。装置本体材質はPVCがメインですが、使用薬液・温度に応じてPP、PVDF、SUSでも製作しております。弊社の装置は全て、お客様の御要望にあわせて製作するCustom商品です。装置改造・移設などの現場作業も承っております。

  • その他
  • スピン現像装置

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枚葉自動スピン現像装置

装置寸法:2000W×1200D×2000H (200WCBT)/2000W×1500D×2000H (300WCBT)

セットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、パドル現像、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン現像装置です。本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能です。

  • その他半導体製造装置
  • スピン現像装置

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