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基板サイズは最大φ12インチ！当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズル使用
『CO2スプレー洗浄装置』は、真空環境での洗浄のため低露点環境で CO2洗浄ができます。 当社独自ノズルのCO2ラバージェットノズルを使用。 個体CO2粒子速度と粒子密度の可変ができ、好適な洗浄条件を提案可能です。 マイクロレンズ上のパーティクル除去やスパッタ残渣除去、濡れ性改善に ご利用いただけます。 【特長】 ■当社独自ノズル：CO2ラバージェットノズル使用 ■真空環境での洗浄 ■ダメージレスドライ洗浄が可能 ■基板サイズは最大φ12インチ ■ハンディータイプのスプレーユニット販売可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ノズル洗浄式 高圧スプレー洗浄装置
コンベア連続搬送で多品種・高スループットに対応 高圧スプレー洗浄装置 【特徴】 ○コンベア搬送タイプ自動洗浄機（ノズル洗浄機） ○プレス加工後の油・付着物を洗浄 ○コンベア連続搬送で多品種・高スループットに対応 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
直進大流量NC制御ノズルにて精密穴狙い洗浄！多軸サーボ式の洗浄装置シリーズをご紹介
『KSA-SN-M』は、ワーク回転により6面洗浄が可能なスプレー洗浄装置です。 加工機の中間設置に有利なコンパクト設計。 直進大流量ノズルにて、複雑な穴内部の切粉を流し出すことができます。 エンジンブロック・ヘッドのウォータージャケット穴洗浄をはじめ、 油圧ポートブロック、マシニング加工部品の穴洗浄などにご使用いただけます。 【特長】 ■NC制御ノズルにて高精度穴狙い洗浄を実現 ■ワーク回転により6面洗浄可能 ■直進大流量ノズルにて、複雑な穴内部の切粉を流し出す ■加工機の中間設置に有利なコンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
