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スライドステージ - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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X軸スライドステージ『XST-500N』

使用最大荷重は500N!サンプルや下部治具の位置合わせの作業性を向上!

『XST-500N』は、最大荷重500Nまで対応のX軸スライドステージです。 サンプルや下部治具の水平方向(X軸)移動を容易にし、測定の位置合わせの 作業性を向上させます。 センター合わせができないようなサンプルも左右にずらした位置で 固定できます。 【特長】 ■計測スタンド側に取り付け、下部治具の水平方向(X 軸)移動を  容易にする ■サンプルや下部治具の位置合わせの作業性を向上 ■左右にずらした位置でサンプルや下部治具を固定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 検査治具
  • その他計測・記録・測定器

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高精度リニヤステージ エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適!

リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して  石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触  防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用  高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  • その他半導体製造装置

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