300mmサイズのワークのプロセスに最適！
リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用 高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用 高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
-
納期
用途／実績例
詳細は、お問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
半導体関連装置の開発業務に従事して来た経験を生かし 大手企業では難しい短期間での開発業務及び CostPerformanceを展開すべく 少人数の生産技術経験者にて設立しました。 動機としては、我々の持つアイデアを生かして市場に参入し 世界に通用するJapanese production を広め 衰退気味の『物作り日本』を復活すべく、事業を起す事にしました 大企業ができないような安価で短納期に対応した 精密スライド機構の開発・供給にチャレンジしております