ズレ測定器 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

両面パターンズレ測定機

表裏面のパターンの中心ズレや微小線幅を高精度自動測定！検査精度向上を実現する両面パターンズレ検査機。

当社では、ワーク表裏面のパターンズレ測定や線幅測定、顕微鏡観察を目的とした「両面パターンズレ検査機」を取り扱っております。 表裏面の同一座標にオートフォーカス機能でピントを自動調整し、パターン検出後にマッチングを実施。表裏面のパターンの中心ズレや微小線幅を高精度に自動測定します。ダブルポート化オプションにより、赤外カメラを搭載することで可視検査機能に追加して複合ワークの赤外検査が可能です。 【特長】 ■高精度の測定性能（表裏面のズレ測定分解能0.1μm） ■ダブルポート化オプションによる赤外検査が可能 ■自社設計の電動レポルバを搭載 ■自社設計のXYθフラットステージユニット搭載 ■レシピ管理による自動測定が可能 ■ご要望に応じたカスタマイズが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。