セラミック製品 ESC(静電チャック)
材料を創設し、いつの日かを創造する
各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。
- 企業:株式会社NTKセラテック
- 価格:応相談
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材料を創設し、いつの日かを創造する
各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。 プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。
材料を創設し、いつの日かを創造する
セラミックスの高剛性を保ちながら、超低膨張性の再結晶ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的材料です。