ソフトエッチング装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ソフトエッチング装置【nanoETCH】

グラフェン・TMDC・レジスト・SiO2・h-BNエッチング

【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精密でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010 年に「炭素新素材グラフェンに関する革新的実験」でノーベル物理学賞を受賞したマンチェスター大学グラフェン研究チームとの共同開発技術。