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さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
１２インチポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
吸着しながら加熱・冷却実験が可能！ローコスト化を実現する真空チャック
「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。 ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。 加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。 【特徴】 ○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適 ○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造 ○6、8、12（丸型）、□150、□200、□250角型に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！
吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。
吸着面がバックライトの様に発光
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。 吸着面がバックライトの様に発光する機能を搭載し「吸着固定＋発光」が可能となります。
