チャック『スタンダード仕様ポーラスチャック』
スタンダード仕様ポーラスチャック
スタンダード仕様のポーラスチャック。 コストパフォーマンスに優れ、短納期での対応が可能。
- 企業:株式会社吉岡精工
- 価格:応相談
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スタンダード仕様ポーラスチャック
スタンダード仕様のポーラスチャック。 コストパフォーマンスに優れ、短納期での対応が可能。
メタルポーラスチャック
ポーラス(多孔質体)素材に、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。 SUS素材のポーラスを選定することで、ワークとポーラス間で導通をとることができます。
12インチポーラスチャック
全自動半導体構造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ワークの大きさ・形状を問わない!部分的に吸着できるチャック
チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。 半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。 形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応じて対応いたします。 【特徴】 ○従来品のポーラスに比べて、緻密なポーラスを使用 ○エアーの漏れが起きづらいので、部分的な吸着でも固定力が落ちない ○アルミナセラミック素材のポーラスのため、 従来通り高精度加工の対応が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
導電性新素材ガラス状カーボン!発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100%ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性・耐熱性に優れていて、吸着ワークへの傷がつきにくいです。 【特徴】 ○導電性(固有抵抗 2.4×10^-2[Ω・m]) ○腐食性ガス及び液体に対する耐腐食性、耐熱性に優れている ○ガラス状カーボンを使用しているため、黒鉛のような色写りがない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
~Webでかんたん仕様を選べる~セミオーダーポーラスチャック
予め用意された仕様から最適な組み合わせを選択するポーラスチャック 「打ち合わせ」・「見積もり」・「口座開設」は一切不要 Webから即購入可能なポーラスチャックを販売開始
~高精度ポーラスチャックをお手軽に~即納品ポーラスチャック
特定仕様のみ在庫生産することでお手軽に購入できるポーラスチャック 最短翌日発送(在庫状況による) お試し価格で導入 オンライン決済サービスでスピード購入
吸着面がバックライトの様に発光
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。 吸着面がバックライトの様に発光する機能を搭載し「吸着固定+発光」が可能となります。