Free Chamber Order System
多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム
『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置(一部抜粋)】 ■排気系 ・ロータリポンプ ・ターボ分子ポンプ ■成膜源 ・スパッタリングカソード ・電子ビーム蒸発源 ■その他機構 ・試料ステージ回転上下機構(自動・手動) ・シャッタ機構付覗窓 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
- 企業:いちよしエンジ株式会社
- 価格:応相談