多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム
『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置(一部抜粋)】 ■排気系 ・ロータリポンプ ・ターボ分子ポンプ ■成膜源 ・スパッタリングカソード ・電子ビーム蒸発源 ■その他機構 ・試料ステージ回転上下機構(自動・手動) ・シャッタ機構付覗窓 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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当社は、装置機械設計・改造、部品設計・施工、装置電気設計、 シーケンスプログラム設計・施工など様々な真空技術を 持ち合わせております。 技術主導の真空装置メーカとして、ユーザーニーズに沿った 真空装置システムの製作、機構設計及び自動化対応などを迅速かつ柔軟に 対応することにより、日本の産業発展に貢献致します。 真空に関わること、機械・電気関係なくすべてご相談ください。