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最終更新日:2019年12月11日

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多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム

『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、 数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された 真空チャンバ設計システムです。 数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置(一部抜粋)】 ■排気系  ・ロータリポンプ  ・ターボ分子ポンプ ■成膜源  ・スパッタリングカソード  ・電子ビーム蒸発源 ■その他機構  ・試料ステージ回転上下機構(自動・手動)  ・シャッタ機構付覗窓 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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