ドライエッチング装置 RIE-10NR（平行平板型RIE装置）
数百台の実績を誇る汎用性に優れたドライエッチング装置。
● 高い選択比と高精度のエッチングが可能。 ● PLCコントロールによる自動運転およびプロセスパラメータの保存が可能。 ● 試料はφ8インチまで対応可能。 ● 高速排気エッチングが可能。 ● コンパクト設計
- 企業：サムコ株式会社
- 価格：応相談
ドライエッチング装置×サムコ株式会社 - 企業1社の製品一覧
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