*ドライポンプMVPシリーズ
業界トップクラスの基本性能
•オイルフリー •低振動、低騒音 (分析装置・研究用途にもオススメ) •国内外対応、電源仕様 •ブーストモードによりポンプ起動時の高排気速度を実現 ※MVP015-2DC, MVP015-4DC,MVP030-3DCのみ搭載
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
ドライポンプ×伯東株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧
ドライポンプの製品一覧
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*スクリュー型ドライポンプHeptaDryシリーズ
業界トップクラスの基本性能
•排気速度：110～630(m3/h) •オイルフリー •水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載 •パーティクル、液体に強い • 独自の異形ピッチ型スクリュー方式： •エネルギー効率アップ •冷却ガス不要、 •低回転数 3000 1/min •低騒音
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
*ドライポンプACG600G
業界トップクラスの基本性能
•コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け •高スループット •10m3までの大型チャンバーの排気が可能（オプション） •耐腐食ガス対応モデル（Gバージョン）
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
*ドライポンプACPシリーズ
業界トップクラスの基本性能
•クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準モデル：クリーンプロセス用 2. Gバージョン：腐食性ガス排気用 3. CVバージョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等 •単相/三相モーター選択可能
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
*ドライポンプAシリーズ
業界トップクラスの基本性能
A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等） •ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止 •IP33、SEMI S2およびULに準拠
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
