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クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプ
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプです。 圧縮には潤滑油、シール油あるいはギアオイルを全く使用しない ドライポンプです。 ◆ドライポンプの特徴◆ ・高効率 スクロール技術により、低い消費電力で高い到達真空、 排気能力を達成 空冷式で低ランニングコスト ・メンテナンス 接触圧縮で、部品は長寿命 ・高い信頼性 シンプルな構造により、取扱いが容易な真空ポンプ ・低騒音 ・コンパクト設計で軽量かつ移動が容易 ・パージの窒素は不要
SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示！
★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期： 2023年12月13日（水）～15日（金） 会場： 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
