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ドライポンプ×日本ブッシュ株式会社 - 企業1社の製品一覧

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ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展!ハーシュプロセスにおいて従来比2倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示!

★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期: 2023年12月13日(水)~15日(金) 会場: 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ:業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ:フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ:超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 真空機器

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