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独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポンプ
◆独自設計のスクリューロータにより、 従来ドライポンプでは不向きとされていた 凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの 吸引を含むハードプロセスにおいても 安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、 堅牢性を重視した構造設計により、 ハードプロセスにおいても 安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、 容易に洗浄作業や分解作業ができ、 ランニングコストを 最小限に抑えます。 ●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。 ●パーティクルが ドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。 一般的なドライポンプに比べ、 粉体・生成物・液体の排出性に優れます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●オプション品 多彩なアクセサリーを取り揃え、 ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。
一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。
GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能（オプション）もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様（ケーシング内にポンプと一緒に収まる）も選択頂けます。 ＜特長＞ ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ・到達圧力 1Pa（ポンプ単体）、0.1Pa（ポンプ＋メカニカルブースター） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業用ドライポンプ。
パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、 アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。 また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
安心設計・低運転音を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 60kPa以下(V/B/VB) ■常用排気圧力 80kPa以下(VH/BH/VBH) ■流量 1350～2200L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により10％アップ(当社従来比)
小型のドライ真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 55kPa以下 ■流量 29L/min(60Hz)以下 【特長】 ■サイド調整不要のフリーロータ方式を採用 ■無給油式のため油分を含みませんから、作業環境や製品を油で汚しません ■ゴムまたはビニールホースを直接接続することができます。
小型のピストン式真空ポンプ
【仕様】 ■到達圧力 10.7～2.7kPa[abs] ■流量 33～85L/min(60Hz) 【特長】 ■オイルフリー 特殊樹脂製カップシールを採用 ■低運転音・軽量 53dB(参考値)、アルミケージング一体型 ■メンテナンスが容易
コンビネーションポンプをパッケージ化
【仕様】 ■常用真空度 60kPa以下(CBXP□A-VB-02B/VV-02B) (CBXP□B-VB-02B 03B/VV02B 03B) ■常用排気圧力 80kPa以下(CBXP□A-VB-02B) 70kPa以下(CBXP□B-VB-02B 03B) 60kPa以下(CBXP□A-BB-02B CBXP□B-BB-02B 03B) ■流量 1115～2200L/min(60Hz) 【特長】 ■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3～5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。
CEマーキング対応の高真空型ドライポンプ
【仕様】 ■到達圧力 8kPa[abs]以下 ■常用排気圧力 到達圧力～大気圧力までワイドレンジ使用可能(但しKHF08-VHは到達圧力～48kPa[abs]) ■流量 150～400L/min(60Hz) 【特長】 ■CEマーキング対応。(04 01Bタイプ) ■到達圧力での連続運転可能。 ■ブレード交換が容易。(KHAシリーズ比) ■運転真空度が高く、エゼクターの代替えや電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適。
高真空型ドライポンプ
【仕様】 ■到達圧力 8kPa[abs]以下 ■流量 65～400L/min(60Hz) 【特長】 ■到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能 ■運転真空度が高く、電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適です。
業界トップクラスの基本性能
•コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け •高スループット •10m3までの大型チャンバーの排気が可能（オプション） •耐腐食ガス対応モデル（Gバージョン）
省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、 省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを 有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、 ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、 省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、 冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。 ●ポンプコントローラを搭載しており、 手動運転、遠隔操作が可能です。 ●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。 アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●キャスター付
一般産業向けのミドルレンジの真空ポンプ。実績のあるGXSをベースに、シンプルな制御設計により低いランニングコストを実現します。
EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。 標準でインバーターが搭載されており（コントローラー無し）、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。 750m3/hrのモデルでは、ブローオフバルブ機能を有しており、低真空圧近くの気体をバルブを介して排気することにより、モーターへの負荷軽減による更なる省エネ効果が期待出来ます。 ＜特長＞ ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 ・到達圧力 <1Pa ・ ランニングコストの低減 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減 ブローオフバルブ機能によるモーターへの負荷軽減（750m3/hrのモデルのみ） ・ パージ機能により幅広い用途に適応 ・ 高電圧仕様（380～460V） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
一般産業用の低真空領域でお使い頂けるスクロールタイプの真空ポンプです。
EDOシリーズは、スクロールタイプのドライポンプです。 真空室は、2つのスクロールで構成されており、1つが固定、もう1つが偏心状態で回転しながら、 対象ガスを閉じ込め、圧縮、排気を行い、到達圧力能力は150Paを有します。 全ての圧力帯で連続運転が可能であり、シンプル構造でお客様サイトでのメンテナンス対応も可能です。 ガスバラスト機能による高い水蒸気排気能力と、大気圧近くのモーターの負荷が高い気体をバイパスして排気させるブローオフバルブによる消費電力の低減を実現します。 モーターは空冷であり、周波数は50/60Hzに対応致します。
SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示！
★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期： 2023年12月13日（水）～15日（金） 会場： 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(最高80kPa) ※KRF15Aは最高75kPa ■常用排気圧力 推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 280～685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30％アップ(当社従来比)
