カーボンナノチューブ合成装置
優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載
『カーボンナノチューブ合成装置』は、優れた基板温度分布および ガスフロー方式を実現します。 全自動でCNT合成が可能。 基板プラズマクリーニングシステム搭載しています。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できますので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全自動でCNT合成が可能 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■豊富な蓄積データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
