優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載
『カーボンナノチューブ合成装置』は、優れた基板温度分布および ガスフロー方式を実現します。 全自動でCNT合成が可能。 基板プラズマクリーニングシステム搭載しています。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できますので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全自動でCNT合成が可能 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■豊富な蓄積データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■CNT合成ガス：CH系、H2 ■基板加熱温度：最高800℃（基板表面） ■真空排気：RP ■圧力制御：APC制御 ■制御操作 ・制御：PLC ・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■オプション ・基板自動搬送システム ・ガス検知器 ・シリンダーキャビネット など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■エネルギー関連 ■マテリアル関連 ■バイオ関連 ■ナノテクノロジー関連 ■エレクトロニクス関連 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。