表面改質のための「微細レジストパターン」一括形成技術[電機大]
多様な表面形状へ、広範囲・高速・安価に、マイクロパターンを一括形成することが可能です。
表面改質による機能性付与では、 高エネルギーレーザーや機械加工によって、被加工物表面に微細なパターンを形成する技術があります。 これらは、精度の高いパターンを製作することができるメリットはありますが、 装置が高価であり、立体的なものへの加工は難易度が高いという課題を抱えています。 本技術では、スペックルという光の特性をリソグラフィーに応用することで、 簡便安価に立体物へ微細パターンを形成することが可能となります。 新技術の特徴 ・スペックル光を利用した微細加工技術 ・部品表面に微細な点状ランダムレジストパターンを形成(数~数100μm程度) ・円筒部品の円周方向表面に一括でパターンを形成可能 ・段差のある部品の表面に一括でパターンを形成可能(数10mmの段差面) 本技術で形成されたレジストパターンによって、被加工物表面への機能性付与が期待されます。 (撥水性、親水性、防汚性、潤滑性、反射防止、抗菌性、生体適合性の向上 など)
- 企業:株式会社信州TLO
- 価格:応相談