パーティクルゲッター(PG)
付着膜が厚くなるにつれ溶接間で変形。付着膜のストレスを緩和します
『パーティクルゲッター(PG)』は、特殊表面加工された銅板であり 従来の溶射加工の代わりとなる製品です。 薄膜形成時に使用される装置内のパーツ表面に貼ることにより、 パーティクルコントロールや、装置内パーツ表面からの膜の剥離を抑制する といった効果が実証されています。 【特長】 ■特殊表面加工された銅板 ■溶射加工の代わりとなる ■特殊表面加工によるパーティクルを吸着 ■エンボス加工による付着膜の残留応力を緩和 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社サンリック
- 価格:応相談