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デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインされた薄膜ゲッター蒸着加工
MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。 ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid PageSheet）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。 現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。 【特徴】 ○ 高真空パッケージに対応 ○ 長期信頼性の確保 ○ 活性ガスに対する高い吸着性能 ○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度 ○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ） パーティクルフリー
水素を選択的に吸着することで、水素による問題を解決します！
PdまたはPtをゲート材料とし、ガリウムヒ素（GaAs）ディスクリートFETを含む密閉した封止パッケージにおいて、水素による劣化はよく知られている現象です。 ゲートの貴金属がH2分子をH2原子へと変え、半導体材料の中に拡散し、電流と装置のゲインの減少を引き起こします。 サエス・グループの水素除去フィルム、Rel-Hyは、最先端のゲッター・ソリューションです。水素による問題に苦しむマイクロ電子密閉パッケージの非常に厳格な要求に、完全に対応するように最適化されています。 水素によって引き起こされる、ガリウムヒ素をベースとしたマイクロ電子装置のゲート故障や、超断熱低温システムでの断熱の劣化等の現象は、ガスを選択的に吸着できるゲッターを導入することで解決可能です。 Rel-Hyを通し、サエス・ゲッターズは素晴らしい性能を発揮するゲッター・ソリューションをマーケットに提供しており、以下の様な密封パッケージに完全に対応しています。
活性化プロセスが不要！真空断熱空間内を望ましい圧力に保持します。
コンボゲッターは、真空断熱パネル（VIP）アプリケーション向けにデザインされた製品です。 窒素の吸着性能が素晴らしく高く、10年から20年、またはそれ以上の長期間に渡り、真空パネル内の浸透あるいはアウトガスされた種を吸着することができ、圧力を望ましい閾値以下に保ちます。 また、活性化プロセスを必要としません。 窒素の吸着に加え、コンボゲッターは室温時にO2 H2O H2 CO/CO2の高い吸着力があります。 コンボゲッターはVIPアプリケーションの他にも、ベークが不可能な真空装置や、高いアウトガス率の材料を含んでいたり、高い浸透率がある真空装置でも使用することが可能です。 【特徴】 ○ 室温でのN2 H2O H2 CO CO2 O2の高い吸着力 ○ 活性化の必要がなく、そのまま使用可能。 ○ 10-4mbarと1mbarの間のオペレーションに最適 ○ 保護されたアルゴン雰囲気でパッケージ済み ○ 開封後、大気への漏洩は最小限に抑える必要がある。（できれば15分以下）
多種多用なサイズとゲッター特性で様々なデバイスの真空度保持に貢献
ピル型のものは、制御された安定した製造工程で、サエスのゲッター合金を圧縮することによって作られます。 圧縮されたピルは多種多様なサイズと構成があり、予想されるガス負荷に合わせ、真空装置の最適なモデル選択が可能となります。 その他の非蒸発型ゲッターとして、ピルは活性ガス(H2 H2o CO CO2 O2 等）を効果的に吸収し、様々な封止装置内で高い真空状態を保ちます。 【特徴】 ○ H2、H2O、CO、CO2、O2の高い吸着能力 ○ 様々なサイズ、構造、ゲッター材料で供給可能 ○ 低－中温度（St2002）、中温度（St707 St787とSt777）または高温度（St101）でのゲッター材料の活性化 ○ 機械的安定性が非常に良い。
薄く柔軟性のあるストリップ型のゲッターで、狭いスペースにも搭載可能。
コーティング済みのストリップは、サエスのSt707またはSt101の粉が薄い金属ストリップの両側にラミネート状に塗られており、磁性（ニッケル）か非磁性（コンス タンタン）のどちらかになります. 粉はバインダーを全く使わず、冷却圧縮接合によってストリップにしっかりと接着 されています。 ゲッター層の厚さは、ストリップのそれぞれのサイドで約70 マイクロメーターです。 ラミネートされた粉は、比較的高い度合いの多孔性を保持しており、（表面域は 1500cm2/mg) エリア単位での高いゲッター性能を確保しています。 【特徴】 ○ エリア/長さあたりの大きなポンピングスピード ○ ２つのゲッター合金があり、通常の温度での活性化にはSt707、高温度での活性化にはSt101が提供可能。 ○ ゲッター・ストリップの基板は磁性（ニッケル）のものか、非磁性（コンスタンタン）。 ○ ストリップは小さくて狭いスペースに組み入れることが可能で、効果的なローカルポンプまたは分散ポンプとして働く。 ○ 外部ヒーターまたは電流の通過により、ゲッター材料を活性化することが可能。 ○ 柔軟性が高く、カスタマイズが容易。
取り付け簡単！広い活性化面積でガスを高速吸着します
サエス・ゲッターズのDFタブレットは、簡単にゲッターをランプなどに取り付けることができるパッケージを提案しています。 タブレットの構造は、ゲッター材料が外部に触れる表面を最大限にしています。 金属タブの存在により、ゲッターをランプジャケットの中に簡単に取り付け、溶接することが可能となります。 寸法の信頼性が非常に高いことから、DFは高速自動フィーディングシステムで使うのに、理想的な製品となっています。 ゲッターの量が高い吸着力を保証しています。 同時に、ゲッター本体の多孔性により、実際の活性化した表面が増えたことによる高速の吸着を可能にしています。 DFタブレットは様々なゲッター合金でご用意しております。
高い信頼性と環境にやさしい製品。排水舗装の性能アップに！
『小型水路』として進化しつづけるのは－ドレンゲッターです。 小型水路 ドレンゲッターは、門型構造を採用し、強度が違います。安全性・耐久性に優れています。また、門型構造が、車両通行時による跳ね上がりなどのトラブル対策に最適です。軽量・小型のため工事が簡単で短縮でき、コスト削減・経費の節減になります。掘削及び埋め戻しが少量で環境にも優しい製品です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
普通・排水性舗装対応！ドレンゲッターのスタンダード製品！
小型水路 ドレンゲッターは、門型構造を採用し、強度が違います。安全性・耐久性に優れています。また、門型構造が、車両通行時による跳ね上がりなどのトラブル対策に最適です。軽量・小型のため工事が簡単で短縮でき、コスト削減・経費の節減になります。掘削及び埋め戻しが少量で環境にも優しい製品です。 小型水路 ドレンゲッター H120･150･200タイプは、普通・排水性舗装対応。ドレンゲッターのスタンダード製品です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
リサイクル効率を高めた側溝一体型！比較的水量の多い場所に最適！
小型水路 ドレンゲッター 大口径タイプ（直受用）は、リサイクル効率を高めた側溝一体型です。比較的水量の多い場所に最適です。普通舗装タイプ・排水性舗装タイプに対応しています。スチール製品で廃材処理が簡単にでき、リサイクルが可能です。カラーYバー・クロコダイルTバーも製作可能です。門型構造を採用し、強度が違います。安全性・耐久性に優れています。また、門型構造が、車両通行時による跳ね上がりなどのトラブル対策に最適です。軽量・小型のため工事が簡単で短縮でき、コスト削減・経費の節減になります。掘削及び埋め戻しが少量で環境にも優しい製品です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
前面部分が取り外し可能で点検や清掃などが容易！
小型水路 ドレンゲッター 縁石一体型は、前面部分が取り外し可能で点検や清掃などが容易です。また、融雪溝の役目もします。大き目の開口で充分な集排水能力を発揮します。分割式で取り扱いが容易です。リサイクルにも対応しています。普通舗装タイプ・排水性舗装タイプに対応しています。コンクリート製品に比べ重量も軽く、工期の短縮ができ、コスト削減・経費の節減になります。掘削及び埋め戻しが少量で環境にも優しい製品です。各種縁石サイズに合わせて製作可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
U字溝に載せるだけ。リサイクルにも対応！
小型水路 ドレンゲッター U字溝用 W-150～300タイプは、いろいろなコンクリートU字溝製品に取付ける事ができます。高さ調整・排水性舗装への対応など自由に設計が可能です。既存側溝のふたを取り替えるだけで、簡単で道路幅が広く感じられ、排水にも考慮した道路ができます。リサイクルにも対応しています。普通舗装タイプ・排水性舗装タイプに対応しています。コンクリート製品に比べ重量も軽く、工期の短縮ができ、コスト削減・経費の節減になります。掘削及び埋め戻しが少量で環境にも優しい製品です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
小さいスペースにも利用可能な薄型ゲッター。 密閉封止した装置の中の真空環境を保持します！
真空管向けゲッターフィルムは、50μm厚のニクロム鉄基板に100～200μm程度のTiベースのゲッターを焼結した製品です（基材の両面/片面ゲッター層のいずれにも対応可）。この製品は様々な用途に用いられる非常に要求レベルの高い多種多様な真空管向けに、長い期間に渡って使用されている信頼性の高いものです。現状でも多くの形状・寸法の製品をご用意しておりますが、お客様の必要に応じてカスタマイズ品の製造も可能です。 【特徴】 ○ 単位面積当たりの高い排気性能 ○ 極小のパッケージにも搭載可能 ○ 基板への高い密着強度により粉落ちのリスクを最小化 ○ 低活性化温度に対応 ○ 片面・両面コーティングのいずれにも対応
水素を選択的に吸着し、製品の長寿命化と断熱性能の向上に貢献！
Lotharは水素を選択的に吸着するゲッターで、特に液体ガス（LNG、LN2、LH２、LOXなど）の保管や輸送に使われる超低温断熱容器やパイプ向けに開発されました。 効率的で費用対効果の高い、安全なゲッターソリューションとして極低温装置の長寿命化と断熱性能の向上に貢献します。 【特徴】 ○ 水素に対する大きな吸着能力 ○ 液体酸素タンクにおいても安全に利用可能 ○ 活性化の必要なし ○ 利便性の高い多孔性バッグの採用。（粉末の計量や袋詰め作業が不要）
70年以上ご愛顧いただいております
サエス・ゲッターズでは研究開発を重ね、ソフトフラッシュ技術の実用化により、ハイウォール型で中央部が閉ざされた、直径20mmの通常ネックチューブ型と直径22.5mmの小径ネックチューブ型に適合した支柱付きゲッターを商品化しました。
【新製品】水素及び水分の両方を吸着する塗布型吸着剤・ゲッター
ZeDry/H2は、高容量、無溶剤、熱硬化型の水素及び水分用ディスペンス型ゲッターです。 オプトエレクトロニクスデバイス、マイクロエレクトロニクスデバイスパッケージや光・電子モジュールのセミハーメチックパッケージ向けに設計されています。 ZeDry/H2は、水分に対して可逆的なゲッターとして機能します。（大気暴露等により飽和した後も加熱により吸着容量の回復が可能です。尚、水素については吸着容量の回復は不能ですが、地表付近の大気中の水素分圧は極めて低いため、大気暴露による水素吸着容量の低下は無視できます。） また、塗布面へのブリードも抑えられています。 【特徴】 〇高い水素及び水分吸着容量 〇可逆吸着：水分（大気暴露し飽和した後でも、加熱により水分吸着容量の再生が可能） 〇不可逆吸着：水素（地表付近の大気中の水素分圧は極めて低いため、大気暴露による水素吸着容量の低下は無視可能。） 〇熱硬化型 〇無溶剤、エポキシベース 〇アウトガスが極めて低い 〇低ブリード性 〇粉落ち無し
