P-517~P-527多軸ピエゾスキャナ
ダイレクト計測機能を備える高ダイナミックナノポジショナー／スキャナ
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、 XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。 【特徴】 ○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ○ストローク～200μm ○サブナノメートルの分解能 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○センター開口部 66 x 66mm ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
