ダイレクト計測機能を備える高ダイナミックナノポジショナー／スキャナ
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、 XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。 【特徴】 ○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ） ○ストローク～200μm ○サブナノメートルの分解能 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○センター開口部 66 x 66mm ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
応用例 ・メトロロジー ・干渉計 ・光学 ・リソグラフィ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。