露光解析ツール 位相シフト･フォーカス･モニタ
±25nm3σ以内の高精度。フォーカス･マトリクスが不要です。
露光解析ツール 位相シフト･フォーカス･モニタは±25nm3σ以内の高精度。フォーカス･マトリクスが不要です。既存のオーバーレイ計測器でフォーカス測定ができます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業：リソテックジャパン株式会社
- 価格：応相談
フォーカスモニタ - メーカー・企業と製品の一覧
フォーカスモニタの製品一覧
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フォーカスモニタ
高出力レーザの集光過程のビームプロファイルを減衰せずに計測
フォーカスモニタは高出力レーザが集光する過程、デフォーカスする過程のビーム強度分布を計測します。計測には高速運動するピンホールを使用しており、これにより高出力レーザを減衰なしで計測することが可能です。 測定チップやディテクタの交換が可能で、近赤外の他、CO2レーザにも対応します。
- 企業：株式会社プロフィテット
- 価格：応相談
