フローコントローラ×株式会社ピー・ジェイ - 企業1社の製品一覧

分子フローコントローラー(PMFC-100)

真空容器内に既知の流量の各種気体を導入することができる装置です((独)産業技術総合研究所との共同研究）

・ほぼあらゆる気体(混合ガスを含む)を用いての既知の流量を真空容器等に導入が可能 ・流量が上流圧力に比例 ・様々な流量を容易に発生させることが可能（コンダクタンスが一次圧力に対して一定） ・温度依存性が小さい

• 企業：株式会社ピー・ジェイ
• 価格：100万円 ~ 500万円

• 分析機器・装置