【CMP用テストウエハ】Ecu ブランケットウェハ
画像はCuブランケットウェハの例です!
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はCuブランケットウェハの例です。 7KA、15KAで成膜した時のCross SEMのウェハです。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業:アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
- 価格:応相談